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DLS系列低温冷水机(晶圆测试温控系统)主要由制冷系统、循环系统、控制系统、箱体等组成。制冷系统采用蒸汽压缩式制冷。循环系统包括循环泵、蓄冷容器、排气阀、单向阀、热电阻、管道等组成。控制系统采用PID控制技术,高清液晶屏显示,设有多项保护功能,确保设备安全运行。通过机组自身的制冷与加热,向外界输送载热流体,满足工艺条件要求。
全密闭系统:采用全密闭式系统设计,整个循环管路只有加液盖上留出的呼吸孔,载冷介质不会直接与空气接触,延长了介质使用寿命同时确保系统运行的稳定性。
高效换热系统:制冷采用板式换热器,换热效率高、结构紧凑。
控制结果重复性:基于高级动态控制系统,每次都能实现一致的控制结果,大大提升产品生产的稳定性。
产品外观:外观设计吸取国外进口产品的设计理念,采用大口径石英玻璃液位计,液位计与操作屏放在同一侧,观察方便,风格简约时尚,比列协调,专有的色彩搭配。
质量保障:所有的关键部件均选用进口品牌,确保产品长时间可靠运行。同时所有产品发货前均经过严格测试与检验,确保设备到客户现场不会出现任何问题。
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